晶圓自動載入設備

  • 可搭配OHT/AMR取放。  
  • 符合25片/13片的12吋Foup/open cassette。
  • 配合製程需傳送Wafer 送入機台buffer平台。
  • 配置8/12吋aligner 。
  • SECS-GEM

12吋晶舟盒(FOUP/FOSB) 自動傳送系統

  • OS Windows 10 pro
  • 符合OHT介面
  • 人機介面指示燈組
  • 安全光閘/EMO
  • 信號燈組